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薄膜镀层由于厚度小，难以用通常的磨损方法评估其耐磨性。本文研究了采用精密凹坑研磨仪评价薄膜镀层耐磨性的方法，并对TaN/NbN纳米多层膜和TaN、NbN单层膜进行了磨损实验。结果表明，精密凹坑研磨仪是-种适用于评价薄膜镀层耐磨性的方法。TaN/NbN纳米多层膜有比TaN、TbN单层膜更高的耐磨性。