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德国爱普科斯（EPCOSAG）开发出了尺寸为1．7mm×1．7mm×0．9mm的MEMS气压传感器。该公司强调，这是业界目前最小尺寸的气压传感器。内部的压力传感器元件为爱普科斯子公司——德国Aktiv Sensor GmbH开发的压电阻力型。
爱普科斯开发出MEMS气压传感器
【摘 要】
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德国爱普科斯（EPCOSAG）开发出了尺寸为1．7mm×1．7mm×0．9mm的MEMS气压传感器。该公司强调，这是业界目前最小尺寸的气压传感器。内部的压力传感器元件为爱普科斯子公司——
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2009年3期
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