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为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作，由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的2013年海峡两岸平坦化技术研讨会于2013年5月16-18日在天津举行。来自海峡两岸的化学机械平坦化以及其他微纳制造相关领域的近80位专家学者参加了此次研讨会。
2013年海峡两岸平坦化技术研讨会在河北工业大学举行
【摘 要】
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为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作，由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的2013年海峡两岸平坦化技术研讨会于2013年5月1
【机 构】
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摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2013年7期
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