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日本欧姆龙株式会社开发出了可检测50cm高低差气压变化（约6Pa）的压电电阻式“绝对压力传感器”。该传感器是以真空状态为零气压来检测压力的传感器，使用MEMS接合技术对传感器芯片内部实施真空密封处理，能够检测出大气与真空状态的压差（绝对压力）；同时，通过使用MEMS接合技术，可确保在传感器芯片内部留有较大的真空腔容积，