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用电流DLTS方法测量了N型Si中S形成的E1—E5 5个深能级。除E1,E2能级对应过去报争的S双施主外,E3=Ec-0.31ev,E4=Ec-0.16ev,E5=Ec-0.15ev,可能是S对或S团形成的深能级。E3,E4能级的电子俘获截面约为10-16cm2,并与温度关系不大。
Si中S深能级的进一步研究
【摘 要】
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用电流DLTS方法测量了N型Si中S形成的E1—E5 5个深能级。除E1,E2能级对应过去报争的S双施主外,E3=Ec-0.31ev,E4=Ec-0.16ev,E5=Ec-0.15ev,可能是S对或S团形成的深能级。E3,E4
【机 构】
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中国科技大学物理系,北京工业大学无线电系,中国科学院半导体所,科大研究生院物理教学部
【出 处】
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中国科学院研究生院学报
【发表日期】
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1989年02期
【基金项目】
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中国科学院科学基金资助课题
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