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有机气相沉积是一种基于载气体传输的有机薄膜生长方式。为了优化沉积参数,提高有机薄膜的均匀性,建立了简化的OVPD模型,模拟了不同传输条件对流体动力学边界层的影响。建立了有机分子沉积模型并利用蒙特卡洛法对边界层内的沉积过程进行仿真。结果表明在133 Pa的操作压强下使气流雷诺数从0.05增加到15,可获得更薄、更均匀的边界层;沉积速度反比于边界层厚度,并且厚度均匀的边界层有助于获得较好的膜厚分布。