SnO2薄膜的红外光谱和表面光电压谱的研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangyongqiangis250

【摘要】

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本文采用PECVD方法制备了SnO2薄膜,对薄膜进行了红外光谱和表面光电压谱测量发现,薄膜表面化学吸附O22-和O-离子基团,成为反应活性中心、电子转移的桥梁,推测了SnO2表面与乙

【作者】

：

戴国瑞姜月顺

【机构】

：

吉林大学,吉林大学长春,长春,长春

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1989年11期

【关键词】

：

SNO2 薄膜红外光谱表面光电压谱 SnO_2 films Infrared spectroscopy Sensing mechanism Surfa

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本文采用PECVD方法制备了SnO2薄膜,对薄膜进行了红外光谱和表面光电压谱测量发现,薄膜表面化学吸附O22-和O-离子基团,成为反应活性中心、电子转移的桥梁,推测了SnO2表面与乙醇气体敏感反应历程.SnO?薄膜淀积在n-Si上,使其表面光电压信号增强二个数量级以上,我们认为是SnO2/n-Si异质结作用和消反射作用的结果.更多还原

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