【摘 要】
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为了能够对低体积分数的氢气进行灵敏探测，提高氢气生产、使用、运输、存储的安全性，通过热蒸发SnO2和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层SnO2
【机 构】
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深圳大学电子科学与技术学院深圳市微纳光子信息技术重点实验室
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为了能够对低体积分数的氢气进行灵敏探测，提高氢气生产、使用、运输、存储的安全性，通过热蒸发SnO2和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层SnO2纳米线气敏层，构成了SnO2纳米线气体传感器。经测试，发现此传感器对于体积分数范围为10×10^-6 - 500×10^-6的氢气具有良好的探测灵敏度。
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