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从微小内尺度测量角度出发,研究了针孔尺寸、探测器位置、透镜的数值孔径、放大倍率和杂散光等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响.结果表明,为提高系统的轴向分辨率,需将有效针孔尺寸控制在≤2.5;探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位;选用差动共焦光路及大数值孔径和大放大倍率的自聚焦透镜,同时,偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比 .