【摘 要】
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在激光干涉仪的微纳米加工过程中,着重分析了随着外界环境因素诸如大气压强、温度、相对湿度的变化而引起的测量结果的改变,进而分析对加工结果产生的影响。
In the process
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所 北京100080,北京100080
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在激光干涉仪的微纳米加工过程中,着重分析了随着外界环境因素诸如大气压强、温度、相对湿度的变化而引起的测量结果的改变,进而分析对加工结果产生的影响。
In the process of micro-nano laser interferometer processing, focusing on analysis of the external environmental factors such as atmospheric pressure, temperature and relative humidity changes caused by the measurement results, and then analyze the impact on the processing results.
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