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采用磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备AZO薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、四探针测试仪和透射光谱仪等手段研究了衬底温度对AZO薄膜结构、形貌、光电性能的影响。结果表明，所有的AZO薄膜均为纤锌矿结构且具有较好的c轴取向。薄膜表面平整，晶粒约为55.56 nm。随着衬底温度升高，薄膜电阻率先降低而后升高，当衬底温度为350℃时，电阻率最小，约为1.41×10^–3Ω·cm，而且该薄膜具有较好的透光率，约为84%。