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根据理论计算得到了碳氢氮体系低压金刚石长非平衡定态相图，结果与实验数据相当符合。
氮原子在 CVD 低压金刚石制备过程中的作用
【摘 要】
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根据理论计算得到了碳氢氮体系低压金刚石长非平衡定态相图，结果与实验数据相当符合。
【机 构】
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复旦大学电子工程系ＣＶＤ研究室,北京理工大学材料科学研究室
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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1998年9期
【基金项目】
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863计划,国家自然科学基金
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