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介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO2气敏材料敏感特性的研究方向。
金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状
【摘 要】
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介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是
【机 构】
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吉林建筑大学电气与计算机学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2021年2期
【基金项目】
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吉林省科技厅项目(20190303064SF),吉林省产业技术研究与开发专项项目(2019C048-4)
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