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大离轴抛物面镜的加工与检测是当今光学加工的热门课题。本文介绍了为新加坡同步辐射光源研制的离轴抛物面镜，包括抛物面镜的加工与检测。该抛物面镜零件的特点是离轴量1米以上，倾斜度误差与表面粗糙度要求都很高。加工的最终倾斜度误差为1．55弧秒，粗糙度RMS为2．24纳米，达到国际同类镜的先进水平。
大离轴量抛物面镜的加工
【摘 要】
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大离轴抛物面镜的加工与检测是当今光学加工的热门课题。本文介绍了为新加坡同步辐射光源研制的离轴抛物面镜，包括抛物面镜的加工与检测。该抛物面镜零件的特点是离轴量1米以
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院,长春光机物理所
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年2期
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