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【摘 要】
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利用分子动力学模拟方法,从原子尺度上研究了类金刚石(DLC)薄膜生长过程.按照运动特点把入射原子在表面的行为分为表面冷冻、迁移、注入和反弹等四种,并由此提出原子运动模型
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室,清华大学摩擦学国家重点实验室,清华大学摩擦学国家重点实验室 北京100084,北京100084,北京100084
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2007年01期
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