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根据石英晶振频率微调机理及激光刻蚀特性，设计软件、硬件实现了一个基于PC机和激光器的石英晶振频率微调装置，并提出了一种实用刻蚀方案，可实现对多片晶片同时微调，能有效地消除微调过程中出现的温漂等问题，同时讨论了提高微调速度及合格率的方法．
基于激光刻蚀技术石英晶振频率微调系统的设计
【摘 要】
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根据石英晶振频率微调机理及激光刻蚀特性，设计软件、硬件实现了一个基于PC机和激光器的石英晶振频率微调装置，并提出了一种实用刻蚀方案，可实现对多片晶片同时微调，能有效地消除
【机 构】
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莆田学院电子信息工程系
【出 处】
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陕西科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年3期
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