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随着纳米技术和纳米产业化的进展、研究和制备纳米材料、纳米结构组装和纳米加工的尺寸越来越小,纳米级图像分析、尺寸测量和微区成分检测已成为纳米技术工作的主要内容之一.
高分辨LEO 1530 VP扫描电镜在纳米技术研究中的应用
【摘 要】
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随着纳米技术和纳米产业化的进展、研究和制备纳米材料、纳米结构组装和纳米加工的尺寸越来越小,纳米级图像分析、尺寸测量和微区成分检测已成为纳米技术工作的主要内容之一.
【机 构】
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国家纳米产业化基地中心试验室
【出 处】
：
电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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