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采用直流磁控溅射法在K9玻璃上制备了不同溅射温度和氧气流量的氧化钛（TiOx）薄膜。采用XPS、霍尔效应测试仪对薄膜的组份、载流子浓度和迁移率进行了测试，发现随着溅射氧气流量的增大，薄膜中的氧元素比例增大，载流子浓度减小，迁移率增大。分析了TiOx薄膜的电阻温度系数（TCR）与溅射温度和氧分压的关系，薄膜的电阻率从0．01Ω·cm上升到2Ω·cm时，TCR值从-1．3％上升到2．14％。同一温度制备的TiOx薄膜随着氧气流量的增大TCR增大；方阻值相同的TiOx薄膜，随着制备温度的提高