硅微机械传感器的技术特点及发展趋势

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：baiawquqf

【摘要】

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基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 ,同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题 Based on the technical characteristics of silicon micromec

【作者】

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刘月明刘君华张少君

【机构】

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西安交通大学!西安市710049,西安交通大学!西安市710049,西安理工大学!西安市710048

【出处】

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仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2000年02期

【关键词】

：

硅微机械传感器技术特点发展趋势

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基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 ,同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题 Based on the technical characteristics of silicon micromechanical sensors, the development trend of these sensors is analyzed, and several problems which are urgently needed to be solved in the further development are pointed out

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