衍射光学应用于红外成象仪（下）

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【摘要】

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<正> 3.3可调谐红外滤光片作为最后一个实例,为了说明近期技术在红外成象仪中的应用,介绍一个用LIGA技术实现的可调谐红外滤光片。LIGA取自德文缩写(Lithographie、Gal-vanof

【作者】

：

Cox. JA 李玲

【机构】

：

美国霍尼韦尔技术中心

【出处】

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红外

【发表日期】

：

1996年10期

【关键词】

：

红外成像仪衍射光学

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<正> 3.3可调谐红外滤光片作为最后一个实例,为了说明近期技术在红外成象仪中的应用,介绍一个用LIGA技术实现的可调谐红外滤光片。LIGA取自德文缩写(Lithographie、Gal-vanoformung、Abformung),它表示应用X-射线石印术、镍电镀术和丙烯酸模塑法制备微电机系统(MIEMS)。LIGA技术能够制备具有甚高纵横比和优良边缘锐度的

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