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硅材料国家重点实验室(原名高纯硅及硅烷国家重点实验室)于1985年由国家计委批准投资建设,1987年通过国家验收,1988年对外开放.目前硅材料国家重点实验室已成为国家在硅材料及半导体材料的科学研究创新及高级人才培养的主要基地之一,是对外学术交流的重要窗口.以该实验室为核心的浙江大学材料物理与化学学科是全国重点学科,早在1986年就建立起了国内第一个半导体材料工学博士点.