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MEMS系统是在微电子和微机械技术上发展起来的一门新兴多学科交叉研究领域，而压电传感器与执行器集成一体化技术是压电应用领域的重点研究方向之一。本文详细论述了压电自感知执行器的各种解耦方法，并提出了利用多次压电效应机电变换的可逆性与周期性进行传感执行器一体化技术研究的新方法。
压电传感器与执行器集成一体化方法和发展趋势
【摘 要】
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MEMS系统是在微电子和微机械技术上发展起来的一门新兴多学科交叉研究领域，而压电传感器与执行器集成一体化技术是压电应用领域的重点研究方向之一。本文详细论述了压电自感知
【机 构】
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浙江师范大学工学院
【出 处】
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中国科技博览
【发表日期】
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2004年期
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