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近年来，随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展，许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法，试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜；研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响；观察了样品的室温光致发光光谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较，提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。