Preparation and Characterization of TaN ALD Precursors

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sbtlan

【摘要】

：

High purity organic-tantalum precursors for thin film ALD TaN were synthesized and characterized.Vapor pressure and thermal stability of these precursors were s

【作者】

：

DelongZhang TracyYund CynthiaA

【机构】

：

Praxair

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2004年7期

【关键词】

：

热稳定性汽压分析 TBTDET PDMAT TBTEMT TAN ALD

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High purity organic-tantalum precursors for thin film ALD TaN were synthesized and characterized.Vapor pressure and thermal stability of these precursors were studied.From the vapor pressure analysis,it was found that TBTEMT has a higher vapor pressure th

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