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具有可变空气间隙几何形状的差动电容式传感器能在高达900℃的高温下测量机械参数。本文将表明陶瓷,尤其是氧化铝,是用作电容传感器的多用途材料。工艺技术细节包括激光切割,溅射镀膜,氧化铝元件的反应焊接,电气连接和电缆中的氧化铝,以及新的应变和位移传感器都举例作了说明。
测量高温机械参数的陶瓷传感器技术
【摘 要】
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具有可变空气间隙几何形状的差动电容式传感器能在高达900℃的高温下测量机械参数。本文将表明陶瓷,尤其是氧化铝,是用作电容传感器的多用途材料。工艺技术细节包括激光切割,
【机 构】
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德·,柏林联邦材料研究和试验研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1991年6期
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