【摘 要】
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针对如何提高X射线能谱仪（EDS）无标样定量分析的准确度,进行了一系列实验研究和理论分析.讨论了样品制样的基本要求,能谱分析过程中加速电压、收集时间和分析区域等方面对能谱
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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针对如何提高X射线能谱仪（EDS）无标样定量分析的准确度,进行了一系列实验研究和理论分析.讨论了样品制样的基本要求,能谱分析过程中加速电压、收集时间和分析区域等方面对能谱分析结果的影响及其最佳的选择参数,如对于轻元素分析应采用较低电压、分析时间过长可能导致样品在电子束轰击下引起更大碳沉积等,通过合理的参数选择均能得到较为满意的分析结果,提高了定量测试的准确度.
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