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在对激光束廓形进行高斯拟合时一般采用最小二乘法，但是采集数据的噪声会严重影响拟合优度。将稳健估计中的M估计应用到最小二乘算法中，经过算法的迭代，赋予每个观测点不同的权值，正常点的权值为1，异常点的权值为0，其他观测点的权值根据异常程度在0到1之间取值。提高最小二乘算法的稳健能力，从而克服异常点对高斯拟合的拟合优度的影响。实验结果表明：采用稳健估计的方法，可以克服噪声对高斯拟合的拟合优度的影响，与一般高斯拟合相比拟合优度提高了0.1107。稳健估计可有效地提高高斯拟合的拟合优度，在激光束的分析方面有着重要的