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【摘 要】
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高灵敏度是微质量传感器准确探测细菌、病毒和气体等物质的关键指标。虽然借助微型化的高阶模态梁振动可以有效提升探测灵敏度,但微尺度效应也降低了传感器的抗环境干扰能力
【机 构】
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大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室汽车工程学院
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2017年03期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（No.51575088,No.11372063,No.11332004,No.11572073）, 大连理工大学星海优青资助项目
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