【摘 要】
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随着信息技术逐步走上多媒体、网络化和智能化的道路,信息获取技术和信息执行技术都成为信息发展的瓶颈.为了满足这一日益迫切的要求,微电子信息处理正逐步向系统芯片发展.在
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随着信息技术逐步走上多媒体、网络化和智能化的道路,信息获取技术和信息执行技术都成为信息发展的瓶颈.为了满足这一日益迫切的要求,微电子信息处理正逐步向系统芯片发展.在这场变革中,微机电系统(MEMS)由于能够把信息获取、处理和执行集成在一起,成为了系统芯片中关键的组成部分.由于微机电技术不仅为传统的机械领域打开了新的大门,也真正实现了机电一体化,因此,被认为是微电子技术的又一次革命.
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