【摘 要】
：
针对同步辐射领域光学元件的口径逐渐增大,其面形测量精度的要求已达到纳弧度级的问题,本文研究了该领域先进的面形测量方法——拼接干涉技术,以实现光学元件的高分辨率二维
【机 构】
：
中国科学院高能物理研究所北京同步辐射装置X射线光学与技术实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金青年基金资助项目（No.11005123）
论文部分内容阅读
针对同步辐射领域光学元件的口径逐渐增大,其面形测量精度的要求已达到纳弧度级的问题,本文研究了该领域先进的面形测量方法——拼接干涉技术,以实现光学元件的高分辨率二维测量。介绍了拼接干涉技术的基本原理,综述了目前同步辐射光学领域常用的面形测量设备——激光光束长程面形仪、高精度自准直纳米测量仪,以及拼接干涉仪的发展历程和特点,比较了它们各自的缺点和优势。最后,分析了拼接干涉涉及的主要误差来源,指出该技术的应用和发展趋势主要有拼接算法的创新,干涉仪测量的快速化,拼接干涉仪的商业化,以及拼接干涉技术与其他科学技术的融合等。
其他文献
互联网金融作为一种新的行业在中国迅速发展。是现代信息技术网络与传统金融产业融合的产物,是一种新的金融模式。与传统金融相比,网络金融运营成本较低。高效的资源配置以及
中国古代伟大的哲人庄子梦见他是一只蝴蝶.当他醒来的时候,他问他自己,我是梦见一只蝴蝶的人,还是一只蝴蝶梦见了我? 你松弛地坐着几乎一动不动,双眼盯着一个发光的色彩鲜艳
在我国民营经济是推动市场经济发展的重要力量,民营企业内部控制的建立与完善对民营经济的发展壮大又起着至关重要的作用,同时民营企业也是国民经济的重要组成部分,针对民营
对企业纪检监察工作而言,加强基层区队的党建工作显得尤为必要。论文通过阐述基层区队的纪检监察现状,提出基层区队"微腐败"的有效治理措施,以分析纪检监察治理基层区队"微腐
目的:探讨肾结核的临床特征及有效治疗方法.方法:回顾性分析120例肾结核患者的临床资料.结果:近十年来肾结核病例仍较多见,早期诊断困难,单纯药物治疗可治愈者约20%,手术切除