Sol-Gel法制备B2O3-P2O5-SiO2系低介玻璃陶瓷

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采用溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯和硼酸、磷酸为原料,制备出一种BPS超细粉.使用这种超细粉,可在低于950℃空气气氛中烧结,获得性能优良的低介电常数、低损耗玻璃陶瓷.该种材料的介电常数ε≤5、介电损耗tanδ<3×10-3(1MHz),有望用于超高频叠层片式电感领域.“,”A sol-gel process was used to synthesize borophosphosilicate ultrafine powders by using boric acid, phosphoric acid and TEOS as starting precursors. The powder can be sintered at 900℃ in air. The dielectric properties of the sintered glass-ceramics were measured. The results show that the sintered glass-ceramics possess dielectric constants less than 5 and dielectric loss less than 3× 10-3 at the frequency of 1MHz. The glass-ceramics are potential for using as dielectric materials in a super high frequency multi-layer chip inductor field.
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