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采用阴极电沉积的方法在导电玻璃上制备了ZnO薄膜。研究了沉积电流对薄膜结构特性和光学特性的影响。XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构，晶粒尺寸随电流的增大而增大，择优取向随电流的变化发生了转变。光学测试表明样品的透射率最大值可达84%，禁带宽度随电流变化不大，接近于3.3 eV。
沉积电流对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响
【摘 要】
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采用阴极电沉积的方法在导电玻璃上制备了ZnO薄膜。研究了沉积电流对薄膜结构特性和光学特性的影响。XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构，晶粒尺寸随电流的增大而增大，择优取向随
【机 构】
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新疆大学物理科学与技术学院功能材料研究室
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2007年1期
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