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简要介绍α、β表面污染仪的使用及数据处理方法,统计分析了2013、2016和2019年五种型号共630台α、β表面污染仪的计量检定数据,对上述型号仪器计量性能参数的历年变化情况进行了比对。总体上五种型号的α、β表面污染仪的表面发射率响应和相对固有误差基本相似,在测量重复性方面,进口α、β表面污染仪明显优于国内产品。