【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜.通过XRD、UV透射谱和电学测试等分析方法,研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响.分析表明所制备的薄膜具有c轴择优
【机 构】
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采用溶胶-凝胶法在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜.通过XRD、UV透射谱和电学测试等分析方法,研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响.分析表明所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角度移动.薄膜电阻率随掺Al浓度变化,当掺Al浓度为1.5%,薄膜电阻率降至6.2×10-4Ω.cm.掺Al量的增加同时使得薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移.
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