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【摘 要】
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CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段。综述了惯性、压力、温度和生化等典
【机 构】
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中国电子科技集团公司,北京 100846;专用集成电路重点实验室,石家庄 050051
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2019年01期
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