表面等离子共振Ag/TiO2复合膜双光束光强归一化传感器

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为了克服由于光源光强的波动而导致的表面等离子共振传感器的测量误差,提出一种双光束归一化光强的表面等离子共振检测方法,传感器的结构为金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜,在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag/TiO2复合膜,Ag膜和TiO2膜的厚度分别为50nm和100nm,在复合膜上设置待测气体的样品池。在He-Ne光入射激励下,复合膜的分界面发生表面等离子共振现象。实验结果表明:采用了双光束归一化光强检测方法,使系统的重复性、稳定性得到大大的提高,减少了测量误差。
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