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采用Sol-gel法在普通载玻片上制备YZO薄膜。研究了陈化时间和Y掺杂量对薄膜晶体结构、表面形貌和光学性能的影响，并分析和探讨了工艺参数与结构和性能之间的关系。实验结果表明，YZO薄膜为纤锌矿结构，呈C轴择优取向生长，平均透光率（380～760m）超过85％。实验还发现，陈化时间存在最优值，YZO薄膜随着Y掺杂量的增加晶体结晶质量下降。