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提出了一种宏／微双驱动微进给机构的设计与控制方法。介绍了宏／微双驱动微位移机构的结构设计，将宏动（大行程）和微动（高分辨率）两者串联以获得理想的运动性能。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高响应速度，用压电陶瓷微位移器作为精密运动以提高运动分辨率和运动精度。设计了该机构的控制系统，用一个基于模型的开关控制器对微位移装置进行控制，并设计专门的运动分配模块对宏／微运动进行协调控制。最后，分别控制宏动和微动装置对该系统进行了实验。肝用激光干涉仪检测。检测结果表明，宏动装置的行程为90mm，运动分辨