可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制

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【摘要】

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从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面,介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置.并针对典型的

【作者】

：

梁玲顾牡许伟群陈玲燕

【机构】

：

同济大学

【出处】

：

发光学报

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

气氛退火高精度退火炉研制可编程温度控制器 PID调节真空退火温度控制退火工艺 annealing programmable temperatur

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从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面,介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置.并针对典型的晶体退火过程,详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调试工作.通过不同气氛条件下对钨酸铅(PbWO4)的退火处理实验证实,这套装置能够满足晶体生长后期退火处理的实际需要.

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