【摘 要】
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针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案。敏感单
【机 构】
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北京智芯微电子科技有限公司,北京智芯微电子科技有限公司
【基金项目】
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国网信通产业集团自筹科技项目(52680016005Z)
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针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案。敏感单元分为4个模块,利用同一片经过不同处理的石墨烯薄膜实现对三种不同气体的检测。NH 3检测模块核心敏感薄膜为氧化石墨烯,H 2检测模块核心敏感薄膜为钯掺杂石墨烯薄膜,NO 2检测模块核心敏感薄膜为氧化锌(Z nO)掺杂石墨烯薄膜。基于微机电系统(MEMS)工艺和石墨烯薄膜转移工艺可将上述3个气敏模块集成于一块芯片,实现一种新型集成化石墨烯气敏传感单
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