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通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多孔结构进行了优化研究,研究表明优化设计的环形上电极结构有利于改善湿度传感器的响应特性。