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为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响，采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法，比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H^＋存在形式和浓度变化特征。结果表明，质子交换铌酸锂波导表面裂纹是波导层应力顺晶体主解理面释放而产生的，具有4个特点：裂纹是交换过程造成的，裂纹间相互平行，裂纹程度与交换时间成正比，退火工艺对裂纹程度有所改善；裂纹是波导层应力大小的宏观体现；退火工艺可以调整波导层中H^＋的存在形式及其浓度，调整波导层晶相和应力大小，从而改善波导性能。可