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紫外光刻、电铸和注塑（UV-LIGA）技术是制作太赫兹真空电子器件（包括谐振腔、电子注通道和输出波导等）的重要方法。采用uV—LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构，研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响，着重讨论了曝光量的影响并分析其原因，得出最佳工艺。另外，本文还对去胶进行了初步研究，获得了全铜的340GHz的折叠波导结构。