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【摘 要】
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背景日本凸版印刷公司成立至今已有百余年的历史,其光掩模业务至今也有近70年的技术沉淀,并已成为全球高端光掩模制造的主力军。应该说,全球包括中国在内的芯片制造厂商受益
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2018年7期
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