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作为微型气相色谱仪的关键部件微型热导检测器,基线噪声高是其主要的失效模式。由于微型热导检测器采用MEMS工艺,制造工艺过程复杂,制造过程中涉及的参数众多,实践中很难把基线噪声大的原因和过程参数关联起来。因此采用基线噪声测试设备对微型热导检测器进行无损测试是管控微型热导检测器质量的有效手段。
微型热导检测器基线噪声测试设备的研制
【摘 要】
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作为微型气相色谱仪的关键部件微型热导检测器,基线噪声高是其主要的失效模式。由于微型热导检测器采用MEMS工艺,制造工艺过程复杂,制造过程中涉及的参数众多,实践中很难把基
【机 构】
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安捷伦科技（上海）有限公司
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2018年5期
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