【摘 要】
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硅晶片是微电子工业的基本建筑模块。用于制备集成电路的硅晶片的尺寸在稳步增大, 因为晶片越大,每一加工步骤中所产生的部件也就越多。当晶片的直径增加到300mm或者更大时,
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硅晶片是微电子工业的基本建筑模块。用于制备集成电路的硅晶片的尺寸在稳步增大, 因为晶片越大,每一加工步骤中所产生的部件也就越多。当晶片的直径增加到300mm或者更大时,它们就会变得越来越容易损坏,而且在制
Silicon wafers are the basic building blocks for the microelectronics industry. The size of silicon wafers used to make integrated circuits is steadily increasing as the larger wafers result in more parts per process step. When the diameter of the wafer is increased to 300 mm or more, they become more and more easily damaged, and in the system
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