【摘 要】
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针对现有惯性开关阈值单一导致应用范围受限的问题,设计了平面万向双阈值MEMS惯性开关。该开关由弹簧质量块和两组弹性电极构成,采用周边弹簧支撑中心环形质量块的形式,低阈
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针对现有惯性开关阈值单一导致应用范围受限的问题,设计了平面万向双阈值MEMS惯性开关。该开关由弹簧质量块和两组弹性电极构成,采用周边弹簧支撑中心环形质量块的形式,低阈值弹性电极布置在环形质量块外部,高阈值弹性电极布置在环形质量块内部,两级阈值分别为450 g和900 g。仿真分析表明,方向差异引起的低阈值散布范围为-12%--5%,高阈值散布范围为-23%--12%;在幅值450 g、脉宽1ms载荷下敏感平面内最短接触时间70μs,在幅值900 g、脉宽1ms载荷下敏感平面内最短接触时间15μs。
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