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动态流量法超真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准，它由校准系统，恒压式气体微流量计和抽气系统组成，极限压力６．５×１０＾－９Ｐａ，校准范围１０＾２～１０＾－７Ｐａ，不确定度３％（１０＾－２～１０＾－６Ｐａ）和１０％（１０＾－７Ｐａ）。
动态流量法超高真空标准装置的性能测试
【摘 要】
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动态流量法超真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准，它由校准系统，恒压式气体微流量计和抽气系统组成，极限压力６．５×１０＾－９Ｐａ，校准范围１０＾２～１０＾－７Ｐａ，不确定度３％（１０＾－２～１０＾－６Ｐａ）和１０％（１０＾－７Ｐａ）。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1998年4期
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