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周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:js_wjj
【摘 要】
:
由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构,假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X
【作 者】
:
秦俊岭
易葵
邵建达
范正修
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
:
光子学报
【发表日期】
:
2006年8期
【关键词】
:
余弦模型
梯度折射率
多层膜
软X射线反射率
Cosine model
Graded-index
Multilayer
Soft X-ray reflect
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由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构,假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率,结果证明,折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面,但它同样具有很高的反射率。
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