低相干光源干涉系统在大口径拼接子镜间相位误差检测上的应用

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针对大口径望远镜拼接式主镜,提出一种基于迈克耳孙干涉原理的低相干光源干涉检测系统。应用该系统对拼接子镜间相位失调误差进行实时检测,进而对失调子镜进行相应校正,以实现拼接子镜的共面排布。给出了低相干光源干涉检测系统的具体结构,叙述了干涉检测系统的检测原理,提出应用双中心波长组合低相干光源进行拼接子镜间相位误差检测,分析了系统最低信噪比。结果表明,双中心波长组合低相干光源系统,可以提高低相干光源干涉中心条纹的信号分辨能力,借以提高检测精度,使得低相干光源干涉测量系统对拼接子镜间的相位失调误差进行高精度提取。 For large primary telescope splice mirror, this paper proposes a low coherence interference detection system based on Michelson interference principle. The system is used to detect the phase mismatch error between splicing sub-mirrors in real time, and then to correct the misaligned sub-mirror so as to realize the coplanar arrangement of the splicing sub-mirrors. The concrete structure of interference detection system with low coherence light source is given. The detection principle of the interference detection system is described. The phase center error detection of splicing mirrors is proposed using double center wavelength combination low coherence light source. The minimum SNR of the system is analyzed. The results show that the dual-center wavelength combination low-coherence light source system can improve the signal resolution of the interference fringes of low-coherence light sources and improve the detection accuracy, so that the low coherence light source interferometry system can accurately extract the phase misalignment errors between the splicing sub-mirrors .
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